ポリッシングマシン
450mmウエハ用ファイナルポリッシャー PNX1200/PNX1200S
Polishing Machine
～次世代大口径450ｍｍウエハの要求スペックに対応した高剛性全自動ファイナルポリッシャー～
450mmウエハ用ファイナルポリッシャー
PNX1200
※本機写真にはオプションが含まれています。
シリーズラインナップ
PNX1200・PNX1200S
コンセプト
450mmウエハ用では世界初の全自動ファイナルポリッシャー
特徴
・450mm対応のため、300mmファイナルポリッシャーのベストセラーマシンPNX332Bとは全く異なるユニークな装置構成。
・3テーブルあるポリッシュステージで、中研磨から仕上げ研磨まで6枚を同時研磨。
・ポリッシュ取り代量の多い再生ウエハや貫通電極(TSV)プロセスにも最適。
・SPP1200Sはマニュアル式1テーブルタイプとなります。
CMP～ケミカル・メカニカル・ポリッシング～ SPP600S
Polishing Machine
～多彩なソフトを備えた研究開発向け
マニュアルCMPのベストセラー～
CMPマシン
SPP600S
※本機写真にはオプションが含まれています。
シリーズラインナップ
SPP600S・SPP800S・SPP1000S・SPP1200S
コンセプト
使いやすさと環境に配慮したフレンドリーCMP装置
特徴
・研究開発用途に最適なマニュアルタイプのCMP装置です。表面基準、裏面基準の各種加圧方式に対応。加工状況が1画面で全て把握できるユーザーフレンドリな画面構成となっています。
・プライマリータイム設定により、常に安定したデータ収集が可能です。本機で得られたデータは全自動ポリッシャーPNX332Bと相互にリンクでき、そのまま転用可能。
・取り代10um以上を研磨してもウェーハ形状を崩すことはありません。専用のドレッサー軸を持ち、ダイヤモンドドレッサーにも対応しています。さらに、スラリーのリサイクル機構を持つなど、環境にも配慮した設計となっています。
ファイナルポリッシャー PNX332B
Polishing Machine
～エッジプロファイルと除去量均一性を極限まで高めた
300mmウエーハ用全自動ファイナルポリッシャー～
ファイナルポリッシャー
PNX332B
※本機写真にはオプションが含まれています。
シリーズラインナップ
PNX332B/312
コンセプト
研磨ヘッドと搬送機構に特殊な構造を採用、高精度且つ高スループットで安定したウエーハの加工が可能なファイナルポリッシャー
特徴
・300mmファイナルポリッシャーのベストセラー。
・原子レベルの超鏡面・超高輝加工を実現します。
・3テーブルあるポリッシュステージで、中研磨から仕上げ研磨まで６枚を同時研磨、インデックス搬送方式で４枚を同時搬送する高生産機です。
・ポリッシュ取り代量の多い再生ウエーハや貫通電極（TSV）プロセスにも最適。
・PNX312は全自動１テーブルタイプです。
ポリッシングマシン SPPシリーズ
Polishing Machine
～超大型のピッチポリッシャー～
超大型ピッチポリッシャー
SPP9600
(国内最大級のポリッシングマシン)
オスカータイプポリッシングマシン
SPP3800
※本機写真にはオプションが含まれています。
特徴
[SPP9600]
・ピッチポリッシャーはオプチカルフラットや高精度の反射鏡、光学ガラス、金属製品では精密測定機のベース基準面など、絶対平面と鏡面が要求される加工に対応できる装置です。この装置で得られる平面度は１㎡で30nm。200mの東京ドームに例えれば、球場内の高低差が0.006mmであることに相当します。
・また、装置特徴としては、長期間に渡る精度維持のため、テーブルには熱変異を最小限に抑えるため専用の御影石を使用し、専用定盤修正コンディショナー及び、超高精度門形フェーシングユニットにて常に最高レベルの加工状況を実現します。
[SPP3800]
・対角寸法最大2400mmのプレートに収納できる世界唯一の10世代用液晶フォトマスク対応の高精度オスカータイプポリッシングマシンです。
ワークを保持するワークヘッドはワークの交換時105度旋回するため、ワークの着脱作業が容易に行えます、また本機の研磨部は錆の発生しない材料と発塵の少ない構造を採用して、ワークのスクラッチを防止しています。
・ポリッシングテーブルはグラナイトを使用して、研磨加工による熱変形を最小限にすることで、テーブルの平面度の変位を防止します。また、研磨スラリはワーク両側及び研磨パッド中心から供給されるため、ワーク全面にわたり安定したスラリの供給が可能です。
・研磨テーブルに加圧されたワークヘッドを半径方向に揺動するアームで、揺動と昇降機能を備えています。この装置の揺動機構は、ACサーボモータで駆動されているため、プロセス実行中に揺動速度、揺動角度および加圧力を変えることが可能です。
角テーブル形ポリッシングマシン SPH3000
Polishing Machine
～塗工装置用ノズル加工用に開発したポリッシングマシン～
角テーブル形ポリッシングマシン
SPH3000
※本機写真にはオプションが含まれています。
シリーズラインナップ
SPH3000
コンセプト
長尺ワークに対応するためヘッド左右移動形のポリッシングマシン
特徴
・Tダイやスロットダイと呼ばれる塗工装置用ノズル加工用にヘッド左右移動形のポリッシングマシンを開発しました。
・設置面積は間口5.4×奥行2.5m以内と従来の円テーブル形と比べ、設置面積はコンパクトです。また、ノズル加工用に前後移動を可能にしました。
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